技術參數(shù):
1 電子槍能量范圍:50 eV ~ 5 keV;
2 電子槍工作距離:20 mm ~ 100 mm;
3 電子束偏轉角度:±3.5° @ 5 keV;
4 電子槍束流:1nA ~ 100 μA;
5 束斑尺寸:1 mm ~ 10 mm;
6 陰極材料:Ta (最低真空要求1 x 10-5 Torr);
7 計算機/遠程控制能力:通過50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩(wěn)定功能:發(fā)射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調(diào)制范圍:2 μs ~ DC,重復頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調(diào)制范圍:20 ns ~ 100 μs;(Option)
11 電子槍在真空中的長度為180 mm;(Option)
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序號 |
電子槍型號 |
能量級別 |
宣傳冊下載 |
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1 |
FRA-2X1-2/EGPS-1011 |
低能量 |
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2 |
ELG-2/EGPS-1022 |
低能量 |
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3 |
EGA-1012/EGPS-1012 |
低能量 |
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4 |
EFG-7/EGPS-1017 |
低能量 |
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5 |
EFG-7/EGPS-2017 |
低能量 |
鏈接5 |
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6 |
EGL-2022/EGPS-2022 |
低能量 |
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7 |
EGG-3101/EGPS-3101 |
中能量 |
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8 |
EGG-3103/EGPS-3103 |
中能量 |
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9 |
EGF-3104/EGPS-3104 |
中能量 |
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10 |
EMG-4212/EGPS-3212 |
中能量 |
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11 |
EMG-4212/EGPS-4212 |
中能量 |
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12 |
EMG-4215/EGPS-4215 |
中能量 |
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13 |
EGF-4104/EGPS-4104 |
中能量 |
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14 |
EMG-4210/EGPS-4210 |
中能量 |
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15 |
EMG-4193/EGPS-4190 |
中能量 |
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16 |
EGH-6210/EGPS-6210 |
高能量 |
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17 |
EGH-6002/EGPS-6002 |
高能量 |
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18 |
EGF-6104/EGPS-6104 |
高能量 |
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19 |
EGF-6115/EGPS-6115 |
高能量 |
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20 |
EGH-8100/EGPS-8100 |
高能量 |
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21 |
EGH-8105/EGPS-8105 |
高能量 |
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22 |
EGH-8103/EGPS-8103 |
高能量 |
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23 |
EGH-8201/EGPS-8201 |
高能量 |
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24 |
EGH-8202/EGPS-8202 |
高能量 |