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二手設(shè)備

  • EVG EUROPE光刻機(jī)
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EVG EUROPE光刻機(jī)

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EVG EUROPE的型號(hào)如下:

  1. EVG6200NT
  2. EVG40NT
EVG推出了新一代的EVG620NT和EVG6200NT系列曝光機(jī)——EVG620NT的曝光范圍從5mm到150mm,EVG6200NT曝光范圍從3英寸到200mm。EVGNT系列高質(zhì)量的體現(xiàn)了新的技術(shù)發(fā)展水平,包括了一個(gè)花崗石底座,主動(dòng)隔離防震平臺(tái)和線性驅(qū)動(dòng)位移馬達(dá)使其可以達(dá)到更高的精度和產(chǎn)出。基于EVG靈活和多功能的曝光平臺(tái),在R&D和批量生產(chǎn)之間的工藝轉(zhuǎn)換(手動(dòng)模式到全自動(dòng))此新系統(tǒng)使用戶可以輕松地得以實(shí)現(xiàn)。批量生產(chǎn)的實(shí)現(xiàn)和曝光精度的提高——達(dá)到0.1um,再加上實(shí)時(shí)曝光精度的檢測(cè)系統(tǒng)(可選項(xiàng)),這樣為用戶提供了一個(gè)重要的更好的成本效益控制方案.


上一個(gè):SUSS光刻機(jī)下一個(gè):KLA表面輪廓儀