技術(shù)參數(shù)：

1 基片尺寸：2 ~ 8英寸；

2 最大加熱溫度：1200℃；

3 溫度掃描速率：200℃/s；

4 溫度重復(fù)性：±3℃；

5 溫度精度：±3℃；

6 熱壁腔體設(shè)計；