為克服器件制造的設(shè)備空間限制，矽碁科技開發(fā)出適合2英寸晶圓的小型半導(dǎo)體制造平臺(tái)-Mini Line，配置靈活，占地面積小，運(yùn)行成本低。適用于科研和企業(yè)用戶教學(xué)和小批量器件制造。

優(yōu)勢(shì)：

1 設(shè)備成本低；

2 運(yùn)行能耗低；

3 占地面積??；

4 制造效率高；

5 配置方式靈活；

可集成設(shè)備清單：

1 多靶槍磁控濺射

2 電子束蒸發(fā)

3 熱蒸發(fā)

4 PECVD

5 RIE

6 PEALD

7 ALE

8 Annealing

9 Plasma treatment