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真空相關(guān)組件配件

  • 旋轉(zhuǎn)陰極
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  • 產(chǎn)品描述：旋轉(zhuǎn)陰極，Racical Sputtering，筒式磁控濺射靶槍
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產(chǎn)品特點(diǎn)：

1 多種磁棒設(shè)計(jì)方案，靶材利用率可達(dá)90%以上，鍍率提升可達(dá)30%以上；

2 獨(dú)特的靶材安裝方式，兼容各類品牌靶材，靶材更換快速；

3 無電刷功率傳輸設(shè)計(jì)，可靠度高，壽命長(zhǎng)；



上一個(gè)：量產(chǎn)型原子層沉積下一個(gè)：真空腔體