特殊的腔體設(shè)計和工藝設(shè)計，可以使得ALD技術(shù)應用于工業(yè)量產(chǎn)，并且可以最大程度提高鍍膜效率。矽碁可根據(jù)用戶的需求定制設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)：

1 不銹鋼腔體，雙層加熱設(shè)計；

2 等離子體增強模塊集成于腔體上蓋；

3 進口高速ALD隔膜閥；

4 基片尺寸可以定制；

5 基片最高加熱400℃；

6 最多可提供6路前驅(qū)物和6路工藝氣體；

7 氣路全金屬密封，并可加熱至120℃；

8 可提供前驅(qū)體鋼瓶加熱或冷卻；

9 可全自動控制工藝過程，同時也可以手動操作。

10 量產(chǎn)型設(shè)計，可以全自動化

產(chǎn)品彩頁下載