利用優(yōu)異保溫效果的坩堝實現(xiàn)有機物材料的穩(wěn)定蒸發(fā)，同時借助超高精度的石英晶振達(dá)到蒸發(fā)速率的最精確控制，矽碁科技可提供性能穩(wěn)定的有機物蒸發(fā)鍍膜機，主要用于有機物材料驗證，OELD器件鍍膜機，OPV器件鍍膜機，有機CMOS鍍膜機等。

技術(shù)參數(shù)：

1 本底真空10^-7 Torr；

2 電極蒸發(fā)束源爐，金屬坩堝，金屬電極式蒸發(fā)舟等；

3 IC6-光學(xué)鍍膜等級石英晶振測量膜厚；

4 與手套箱連接

5 Mask對準(zhǔn)功能，機械對準(zhǔn)或者CCD對準(zhǔn)