矽碁還專為客戶定制過(guò)性價(jià)比極高的PECVD與RIE聯(lián)合系統(tǒng)，該聯(lián)合系統(tǒng)采用統(tǒng)一的真空氣路及電控系統(tǒng)，在實(shí)現(xiàn)多功能的前提下有效節(jié)省成本。

技術(shù)參數(shù)：

1 基片尺寸可定制；

2 氧化硅、氮化硅及多晶硅鍍膜；

3 金屬、電解質(zhì)和III-V族材料刻蝕；

4 鍍膜及刻蝕均勻性優(yōu)于 ±5%；